一、概述

　　我公司生产的不锈钢硅烷燃烧塔，主要用于单晶硅、多晶硅行业生产中产生的硅烷尾气净化。该设备的成功应用，主要是我公司技术人员对国外半导体行业净化硅烷尾气技术方面的消化吸收，来满足国内太阳能、光能行业，半导体行业及CVD化学气体沉积工艺中产生的硅烷气体净化。

　　二、工作原理

　　根据硅烷尾气与空气接触而自燃的特点，生产工艺中产生的硅烷尾气由管道进入不锈钢硅烷燃烧筒进行燃烧处理，经过燃烧筒处理的尾气再由管道进入不锈钢硅烷燃烧塔进行二次燃烧处理，燃烧处理后的气体进入燃烧塔的喷淋室进行一次喷淋处理再穿过填料层进入第二次喷雾处理，使尾气与中和循环液进行充分的逆向接触反应，然后通过脱液处理后由抽风机排出。

　　三、产品外形

　　不锈钢硅烷燃烧塔在结构上主要由不锈钢壳体、燃烧系统、洗涤系统和清渣系统组成。在进气方面采用压缩空气加新风进气口双进风形式，提高产品运行效率和可靠性。在喷淋系统方面，采用循环水泵与自动补水相结合的方法，风机采用一用一备形式，这些工艺特点使得本产品在安全可靠性方面得到极大保证。内部燃烧室采用特殊的泄压装置，即使在内部压力突然增大的情况下仍能正常工作，同时配备了氮气入口，更加大了设备的安全性。在粉尘收集方面采用静压沉积的方法，沉积下来的粉尘通过排渣口排出，这使粉尘收集处理变得更容易、更有效。经权威部门实测，客户单位硅烷(SiH4)去除率≥99.99%，NHs以及其它水溶性气体的净化率高达99.99%。

　　四、流程示意

　　不锈钢硅烷燃烧塔的作用：

　　1、将燃料气（或空气、）在炉内充分燃烧，产生高温体。

　　2、使燃气与空气均匀混合后进入下游设备。

　　3、为下游设备提供所需的助燃空气和一定的氧气量。

　　4、对废气中的co2进行脱除处理，防止其对设备的腐蚀作用。

　　5、气余热用于加热热水锅炉或其他用汽设备。

　　6、通过调节进风量和排风量来控制温度，从而实现节能降耗的目的。

　　7、当发生事故时，可快速有效地排出爆炸产生的浓烟及火焰并泄压防爆。

　　8、保护环境、节约能源、改善劳动条件等。

　　硅烷燃烧塔特点：

　　1、高效环保节能：采用的"低温预混式"的工艺技术设计制造而成。

　　2、运行成本低：由于采用独特的结构设计和新型耐火材料的使用，大大降低了运行成本。

　　（1）使用周期长；

　　（2）使用寿命长；

　　（3）维护简单；

　　（4）无维修费用；

　　（5）无排污费用；

　　（6）无需更换部件；

　　（7）安装方便；安全可靠；操作简便；经济性好。